マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。

3次元形状レーザ露光装置

フォトリソグラフィは幅広い分野で活用されていますが、一般的に平面ワークに対して行われています。
しかし、デバイスの小型化、高性能化、デザイン性向上への対応は著しく、今までの平面に対するフォトリソでは不十分な状況が増えてきており、3次元形状に対するフォトリソグラフィの実現が期待されてきました。
本装置は5軸ステージを制御することで様々な3次元形状のワークに対して任意のパターンを露光することが可能となり、次世代の製品を見据えた研究開発に活用することができます。

傷検査用スキャニングレーザ LaScan

傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。

温調付き超低ノイズLDドライバ

従来の半導体レーザドライバ（LDドライバ）と比べて極めて低い電流ノイズレベルを実現しました。低ノイズでありながら、1.4Aまでの電流駆動が可能です。温度調節機能付きで使いやすさにもこだわりました。ファイバーレーザの低ノイズ化、挟線幅半導体レーザの駆動に最適です。

プローブ型 磁気光学Kerr効果 測定ユニット(開発中)

既にお持ちの電磁石を活用し、検出部を電磁石磁極間に配置して磁気光学Kerr効果を測定するユニット製品です。
プローブ部分を回転させることにより垂直／面内磁場印加によるループ測定が可能です。
（面内／垂直成分分離オプション有）
●Kerr効果検出感度
0.005deg以下 *条件による
●プローブ直径 22mm
*対応可能な電磁石の磁極間隔 要22mm以上

マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。

3次元形状レーザ露光装置

フォトリソグラフィは幅広い分野で活用されていますが、一般的に平面ワークに対して行われています。
しかし、デバイスの小型化、高性能化、デザイン性向上への対応は著しく、今までの平面に対するフォトリソでは不十分な状況が増えてきており、3次元形状に対するフォトリソグラフィの実現が期待されてきました。
本装置は5軸ステージを制御することで様々な3次元形状のワークに対して任意のパターンを露光することが可能となり、次世代の製品を見据えた研究開発に活用することができます。

傷検査用スキャニングレーザ LaScan

傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。

温調付き超低ノイズLDドライバ

従来の半導体レーザドライバ（LDドライバ）と比べて極めて低い電流ノイズレベルを実現しました。低ノイズでありながら、1.4Aまでの電流駆動が可能です。温度調節機能付きで使いやすさにもこだわりました。ファイバーレーザの低ノイズ化、挟線幅半導体レーザの駆動に最適です。

プローブ型 磁気光学Kerr効果 測定ユニット(開発中)

既にお持ちの電磁石を活用し、検出部を電磁石磁極間に配置して磁気光学Kerr効果を測定するユニット製品です。
プローブ部分を回転させることにより垂直／面内磁場印加によるループ測定が可能です。
（面内／垂直成分分離オプション有）
●Kerr効果検出感度
0.005deg以下 *条件による
●プローブ直径 22mm
*対応可能な電磁石の磁極間隔 要22mm以上