レーザーEXPO H-22
DUV波長対応の最新波面センサを手に届く価格でご案内可能となりました。 高精度な波面測定をご検討中でしたら、ぜひ弊社ブースへお立ち寄りください! 【DUV波長対応の波面センサ活用用途】 ◇半導体・フォトリソグラフィ 投影光学系の収差測定や調整 ◇レーザー光学系 短波長レーザーなどの波面収差測定、光学レンズ・ミラーの性能評価 ◇バイオ・医療分野 高解像度顕微鏡の光学アライメント、収差補正
☆高速波面センサ (DUVモデル) 基本仕様 ・測定有効径:φ2.0mm ~ φ7.0mm ・測定波長:200 ~ 800nm ・測定精度(3σ):< 1/100λ rms ・測定再現性(3σ):< 1/500λ ・測定レンジ(Sa3):~18λ ・リアルタイム計測:~15Hz ☆DUV波長対応モデルを新規ラインナップに追加!
☆自社開発のShack-Hartmann方式の波面センサを使用した、レンズユニットの評価システムです。 波面計測システム(LUCAS)の活用事例 ・産業用カメラ、撮像系レンズ、車載カメラの完成品検査 MTF、スポット画像検査からの置き換え ・群組レンズの組立調整工程 偏芯調整、レンズ間距離調整、カシメ工程での活用 ・レーザ加工/露光装置の光学アライメント 光軸、コリメート調整
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