PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

<Granas-10XY-GL>
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステム
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

NEW! XY motor stage & Z motor stage

XY軸＋Z軸に組んで、デモ動作展示いたします。

”V-P01”　高精度XY軸リニアモータステージ　100x100mmレンジ、インクリエンコーダー、100N、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”　高精度Z軸ボイスコイルモータステージ　5mmレンジ、インクリエンコーダー、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、150N、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

手のひらサイズの小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：10 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

小幅＆高速リニアモーターステージ V-855型

・ロングトラベルレンジ (最大 800 mm) 、薄型 (幅100 mm)
・最大速度4m/sの高ダイナミック、メンテナンスフリーのリ
ニアモーター
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエン
コーダ
・最大600Nの負荷容量
・ガントリー・システムに最適
＜用途例＞
電子機器の組み立て ：センサーやカメラ
非接触検査、X線検査、AOI（自動光学検査）
超音波検査 半導体製造 ウェーハの加工・検査
レーザー加工 レーザー溶接
精密自動化における高度な動的アプリケーション

V817　高負荷対応リニアステージ

高性能 - リニアモータ - コストパフォーマンス - 高速性
・薄型 (63 mm)、幅 166 mm、ロングトラベルレンジ (最大813 mm)
・高動作性、メンテナンスフリーのリニアモータと高精度インクリメンタルリニアエンコーダを搭載
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・最大600Nの負荷容量
・リファレンスエッジによる高速統合、簡単にXY軸に搭載

G901　ACSモーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

シリコンフォトニクス・光学アライメントにお薦め！９軸精密駆動ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合による高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージは、複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能にします。最初の光検出、エリアスキャン、および勾配検索のための効率的なアルゴリズムにより、24時間365日の運用で最高のスループットが保証されます。

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤デバイスです。ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。

PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

<Granas-10XY-GL>
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステム
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

NEW! XY motor stage & Z motor stage

XY軸＋Z軸に組んで、デモ動作展示いたします。

”V-P01”　高精度XY軸リニアモータステージ　100x100mmレンジ、インクリエンコーダー、100N、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”　高精度Z軸ボイスコイルモータステージ　5mmレンジ、インクリエンコーダー、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、150N、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

手のひらサイズの小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：10 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

小幅＆高速リニアモーターステージ V-855型

・ロングトラベルレンジ (最大 800 mm) 、薄型 (幅100 mm)
・最大速度4m/sの高ダイナミック、メンテナンスフリーのリ
ニアモーター
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエン
コーダ
・最大600Nの負荷容量
・ガントリー・システムに最適
＜用途例＞
電子機器の組み立て ：センサーやカメラ
非接触検査、X線検査、AOI（自動光学検査）
超音波検査 半導体製造 ウェーハの加工・検査
レーザー加工 レーザー溶接
精密自動化における高度な動的アプリケーション

V817　高負荷対応リニアステージ

高性能 - リニアモータ - コストパフォーマンス - 高速性
・薄型 (63 mm)、幅 166 mm、ロングトラベルレンジ (最大813 mm)
・高動作性、メンテナンスフリーのリニアモータと高精度インクリメンタルリニアエンコーダを搭載
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・最大600Nの負荷容量
・リファレンスエッジによる高速統合、簡単にXY軸に搭載

G901　ACSモーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

シリコンフォトニクス・光学アライメントにお薦め！９軸精密駆動ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合による高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージは、複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能にします。最初の光検出、エリアスキャン、および勾配検索のための効率的なアルゴリズムにより、24時間365日の運用で最高のスループットが保証されます。

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤デバイスです。ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。