光源・光学素子EXPO I-10

（株）クォークテクノロジー

  • 出展のみどころ

    現在の洗浄工程は“ワーク”を傷つけていませんか？

    ＵＶ光を使えば、ワーク にも環境にも優しい洗浄工程が可能です。

    クォークテクノロジーは、ＵＶ光源専門メーカとして高付加価値なＵＶ光をご提供いたします。
    世界初の「面発光エキシマＵＶ照射装置」は、マスクやウエハの有機物、レジスト残渣を172nmの光で取り除きます。
    弊社独自技術の面発光のランプにより歩留まり向上、タクトタイム短縮、品質向上に貢献いたします。

    その他、UV硬化用UV-LED、UVレーザーのUV光源を用途に合わせてご提案いたします。

  • 波長172nmエキシマランプ

    エキシマランプによるUV照射は、他の方法で見られる表面の欠陥、基材への熱ダメージがありません。
    低熱で表面処理ができ、環境への影響もないため、各方面より注目されております。
    クォークテクノロジーでは、高照度・高均一性の面発光タイプから搬送処理用スキャンタイプ、低コストなチューブタイプまで幅広い光源ラインナップを取り揃えておりますのでお客様のご要望に応じたご提案が可能です。

    【用途例】
    表面洗浄・改質／除電／密着性向上／ウェハ洗浄／マスク洗浄／レジストアッシング／コータ前処理／ガラス基板洗浄／ポリマ表面改質／etc.

  • UV-LED照射装置

    UV-LEDは環境負荷が小さいUV光源です。また、UVランプよりも消費電力が抑えられることからも、より地球環境にやさしいUV光源といえます。
    クォークテクノロジーでは、各種UV-LEDユニットを必要な波長、照射強度、ワークサイズに合わせてオーダーメイドしており、最適条件でのUV処理工程をご導入可能です。

    【用途例】
    UV硬化・接着／レジスト改質／パネル貼り合わせUV硬化／etc.

  • UVレーザー

    UVレーザーは、各素材に対して吸収率が非常に高く、熱ダメージを与えない加工ができるため超微細加工が可能です。
    また、ウェハ支持基板のレーザーデボンディング（LLO）などのデボンディング工程に用いられるケースが増えております。
    クォークテクノロジーでは、高出力、高寿命の最大520×520mmの広角照射が可能なスキャナシステムをトータル提案いたします。

    【用途例】
    分析機器／検査用光源／レーザーデボンディング（LLO）／マイクロビアホール穿孔／フィルムガラス剥離／etc.

（株）クォークテクノロジー

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    住所
    岡山県井原市木之子町167
    ウェブサイトURL
    http://www.quark-tec.com/
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