ピエゾステージ

【ドイツ SmarAct社製】
　・ リニア、回転、ゴニオ、多軸システム、ヘキサポッド、マイクログリッパー、
　・ オプトメカニクス（ミラーマウント、アイリス、フィルターホイール、スリットユニット）など多彩なラインナップ
　・ 高分解能（1nm/5μ°）でありながら、ロングストローク（4.5～680mm）を両立
　・ 真空、極低温、非磁性など、多様な環境に対応

ダイレクトドライブステージ

SmarAct社のリニアステージは、小型で高速移動、高精度と高い耐久性を兼ね備えたステージです。
・直動ステージ
MLS-3252、MLS-5282、MLS-92122
サイズ:52x32x15mm～

・回転ステージ
MR-9224、MR-30028
サイズ:92x92x24mm～

小型光学エンコーダー Metirio

【ドイツ SmarAct社製】
　・ 長年の市場分析に基づいた技術課題に対応する、小型、高解像度、高速性能を実現
　・ 温度特性に優れ、アライメントも容易
　・ 20μmピッチの多種多様なスケールに対応
　・ 真空対応、動作温度範囲0～80℃
　・ リードヘッドはモジュール式で、OEM製品として供給することも、カスタマイズされたハウジングに組込んでのご提供も可能

レーザー干渉変位計PicoScale

【ドイツ SmarAct社製】
　・ 小型センサーヘッドでありながら、超長距離(最長5m)の測定レンジと、ピコスケールの分解能を両立
　・ マイケルソン干渉計
　・ 単一軸の変位計測、角度測定・微分測定など、様々なアプリケションに対応するセンサヘッドをラインナップ
　・ 使用環境によるノイズを補正する環境補正モジュールなど、様々なオプションをご用意
　・ 真空、極低温、非磁性など、多様な環境に対応

二次元輝度計測カメラ

【ドイツ TechnoTeam社二次元輝度計測カメラ】
　・ 1:10,000,000(～140db)のハイダイナミックレンジ、高精度な輝度測定
　・ 輝度、配光分布、Black Mura、Sticking Image、Sparkleなど各測定に最適
　・ OLED・LED・MicroLEDなどディスプレイ、車載ヘッドランプやInstrument Cluster類、街路灯・トンネルなど野外・道路関連、各種照明機器など幅広い用途

メタレンズ

PlanOpSimはサブストレート上にサブ波長のナノピラー(主に酸化金属)を配したメタレンズ/メタサーフェスの設計専用ソフトです。メタレンズ/メタサーフェスはナノピラーにて振幅、位相、分散および偏光を制御するフラット光学系の一種です。

PlanOpSimは設計上トレードオフの関係にあるレンズの大きさにおけるサブ波長のナノピラーを同時に扱えます。メタサーフェスのデータを市販の光線追跡ソフトにエキスポートする事も可能です。
メタサーフェスの設計プロジェクトも承っております。SOLNIL社の成形特性を考慮した設計を行えます。

デスクトップ・マスクレス露光装置

SMART PRINT UVはDMDプロジェクター技術を基に、様々な市販フォトレジストやサブストレートに対応可能なデスクトップ型マスクレス露光装置です。SMART PRINT UVはマスクを用いる事なく2D形状をum単位にて成形可能です。
描画分解能:1.5um
最小加工サイズ:1.5um
位置決め精度`1cm2プリント面積:1um
最大露光面積:110x110mm
サブストレートサイズ:<5"x5"
描画スピード:220mm2/分
装置寸法:52x52x69cm2(WxDxH)

光電式オートコリメーター

メーラー社製光電式オートコリメーターです。
ELCOMATシリーズは、最大作動距離25mの光電式2軸オートコリメーターです。
独自の特許技術により、世界最高水準の精度と分解能を誇ります。ドイツ物理工学研究所（PTB）をはじめ、
世界中の研究機関に採用されている信頼の測定システムです。

ELCOMAT5000
ELCOMAT 3000と比較して、光電子設計により測定周波数が10倍になり、ダイナミックレンジ（測定範囲／測定の不確かさ）が大幅に向上しています。また、オートコリメーションセンサーに内蔵されたアライメントセンサーにより、オートコリメーターのアライメントが容易かつ迅速・正確に行えます。

測定範囲: 最大3,000”
測定精度:±0.1”（20”レンジ）±0.25”（フルレンジ）
作動距離:最大25m

ピエゾステージ

【ドイツ SmarAct社製】
　・ リニア、回転、ゴニオ、多軸システム、ヘキサポッド、マイクログリッパー、
　・ オプトメカニクス（ミラーマウント、アイリス、フィルターホイール、スリットユニット）など多彩なラインナップ
　・ 高分解能（1nm/5μ°）でありながら、ロングストローク（4.5～680mm）を両立
　・ 真空、極低温、非磁性など、多様な環境に対応

ダイレクトドライブステージ

SmarAct社のリニアステージは、小型で高速移動、高精度と高い耐久性を兼ね備えたステージです。
・直動ステージ
MLS-3252、MLS-5282、MLS-92122
サイズ:52x32x15mm～

・回転ステージ
MR-9224、MR-30028
サイズ:92x92x24mm～

小型光学エンコーダー Metirio

【ドイツ SmarAct社製】
　・ 長年の市場分析に基づいた技術課題に対応する、小型、高解像度、高速性能を実現
　・ 温度特性に優れ、アライメントも容易
　・ 20μmピッチの多種多様なスケールに対応
　・ 真空対応、動作温度範囲0～80℃
　・ リードヘッドはモジュール式で、OEM製品として供給することも、カスタマイズされたハウジングに組込んでのご提供も可能

レーザー干渉変位計PicoScale

【ドイツ SmarAct社製】
　・ 小型センサーヘッドでありながら、超長距離(最長5m)の測定レンジと、ピコスケールの分解能を両立
　・ マイケルソン干渉計
　・ 単一軸の変位計測、角度測定・微分測定など、様々なアプリケションに対応するセンサヘッドをラインナップ
　・ 使用環境によるノイズを補正する環境補正モジュールなど、様々なオプションをご用意
　・ 真空、極低温、非磁性など、多様な環境に対応

二次元輝度計測カメラ

【ドイツ TechnoTeam社二次元輝度計測カメラ】
　・ 1:10,000,000(～140db)のハイダイナミックレンジ、高精度な輝度測定
　・ 輝度、配光分布、Black Mura、Sticking Image、Sparkleなど各測定に最適
　・ OLED・LED・MicroLEDなどディスプレイ、車載ヘッドランプやInstrument Cluster類、街路灯・トンネルなど野外・道路関連、各種照明機器など幅広い用途

メタレンズ

PlanOpSimはサブストレート上にサブ波長のナノピラー(主に酸化金属)を配したメタレンズ/メタサーフェスの設計専用ソフトです。メタレンズ/メタサーフェスはナノピラーにて振幅、位相、分散および偏光を制御するフラット光学系の一種です。

PlanOpSimは設計上トレードオフの関係にあるレンズの大きさにおけるサブ波長のナノピラーを同時に扱えます。メタサーフェスのデータを市販の光線追跡ソフトにエキスポートする事も可能です。
メタサーフェスの設計プロジェクトも承っております。SOLNIL社の成形特性を考慮した設計を行えます。

デスクトップ・マスクレス露光装置

SMART PRINT UVはDMDプロジェクター技術を基に、様々な市販フォトレジストやサブストレートに対応可能なデスクトップ型マスクレス露光装置です。SMART PRINT UVはマスクを用いる事なく2D形状をum単位にて成形可能です。
描画分解能:1.5um
最小加工サイズ:1.5um
位置決め精度`1cm2プリント面積:1um
最大露光面積:110x110mm
サブストレートサイズ:<5"x5"
描画スピード:220mm2/分
装置寸法:52x52x69cm2(WxDxH)

光電式オートコリメーター

メーラー社製光電式オートコリメーターです。
ELCOMATシリーズは、最大作動距離25mの光電式2軸オートコリメーターです。
独自の特許技術により、世界最高水準の精度と分解能を誇ります。ドイツ物理工学研究所（PTB）をはじめ、
世界中の研究機関に採用されている信頼の測定システムです。

ELCOMAT5000
ELCOMAT 3000と比較して、光電子設計により測定周波数が10倍になり、ダイナミックレンジ（測定範囲／測定の不確かさ）が大幅に向上しています。また、オートコリメーションセンサーに内蔵されたアライメントセンサーにより、オートコリメーターのアライメントが容易かつ迅速・正確に行えます。

測定範囲: 最大3,000”
測定精度:±0.1”（20”レンジ）±0.25”（フルレンジ）
作動距離:最大25m