Äpre社 干渉計 Äシリーズ/ Sシリーズ

「厳格なスペック管理で製造されたハイエンドなレーザー干渉計」
主な特長
・直接カメラに干渉縞を結像することで得られる高解像度
・CNC補正研磨で効果を発揮する少ない画像歪み（ディストーション）
・計測面が蹴斜している場合に発生するリトレースエラーを最小化
・He-Ne光源に加えて、SCI光源、波長変調光源、特殊光源も追加可能
・直観的で視認性の高いソフトウエア（従来のソフトウエアとの互換性あり）

Äpre社 SpectrÄ (SCI光源、周波数制御干渉法)

Äシリーズ/Ｓシリーズ干渉計のオプション光源：SCI光源
「多重干渉が発生するパーツ、薄い透明基板に新しい計測ソリューション」
優位性
・レーザー光源では多重干渉が発生するパーツで、任の距離の干渉縞を生成
・厚さ<100μmの基板の内部干渉縞(表裏面）計測
・光源のスペクトル制御で位相シフト測定
主な仕様
・最小光学距離：150μm
・最大光学距離：2000mm
・可干渉深度：150μmから1mm

GBS metrology社 3次元光学プロファイラー smartWLI シリーズ

「高速カメラと大規模並列データ処理によるハイエンド白色干渉計」
主な特徴
・三次元表面性状の国際規格ISO25178-604に準拠
・GPGPUを使用した超並列/超高速処理で測定時間と解像度を強化
・低ノイズで超平滑面の計測に有効なHD-EPSIアルゴリズムを搭載
・超高速プレスキャン機能を活用した”うねりのある超平滑面"の高速計測
・高精度なステッチングを実現するアルゴリズム

Äpre社 干渉計 Äシリーズ/ Sシリーズ

「厳格なスペック管理で製造されたハイエンドなレーザー干渉計」
主な特長
・直接カメラに干渉縞を結像することで得られる高解像度
・CNC補正研磨で効果を発揮する少ない画像歪み（ディストーション）
・計測面が蹴斜している場合に発生するリトレースエラーを最小化
・He-Ne光源に加えて、SCI光源、波長変調光源、特殊光源も追加可能
・直観的で視認性の高いソフトウエア（従来のソフトウエアとの互換性あり）

Äpre社 SpectrÄ (SCI光源、周波数制御干渉法)

Äシリーズ/Ｓシリーズ干渉計のオプション光源：SCI光源
「多重干渉が発生するパーツ、薄い透明基板に新しい計測ソリューション」
優位性
・レーザー光源では多重干渉が発生するパーツで、任の距離の干渉縞を生成
・厚さ<100μmの基板の内部干渉縞(表裏面）計測
・光源のスペクトル制御で位相シフト測定
主な仕様
・最小光学距離：150μm
・最大光学距離：2000mm
・可干渉深度：150μmから1mm

GBS metrology社 3次元光学プロファイラー smartWLI シリーズ

「高速カメラと大規模並列データ処理によるハイエンド白色干渉計」
主な特徴
・三次元表面性状の国際規格ISO25178-604に準拠
・GPGPUを使用した超並列/超高速処理で測定時間と解像度を強化
・低ノイズで超平滑面の計測に有効なHD-EPSIアルゴリズムを搭載
・超高速プレスキャン機能を活用した”うねりのある超平滑面"の高速計測
・高精度なステッチングを実現するアルゴリズム