PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

小幅＆高速リニアモーターステージ V-855型

・ロングトラベルレンジ (最大 800 mm) 、薄型 (幅100 mm)
・最大速度4m/sの高ダイナミック、メンテナンスフリーのリ
ニアモーター
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエン
コーダ
・最大600Nの負荷容量
・ガントリー・システムに最適
＜用途例＞
電子機器の組み立て ：センサーやカメラ
非接触検査、X線検査、AOI（自動光学検査）
超音波検査 半導体製造 ウェーハの加工・検査
レーザー加工 レーザー溶接
精密自動化における高度な動的アプリケーション

V817　高負荷対応リニアステージ

高性能 - リニアモータ - コストパフォーマンス - 高速性
・薄型 (63 mm)、幅 166 mm、ロングトラベルレンジ (最大813 mm)
・高動作性、メンテナンスフリーのリニアモータと高精度インクリメンタルリニアエンコーダを搭載
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・最大600Nの負荷容量
・リファレンスエッジによる高速統合、簡単にXY軸に搭載

G901　ACSモーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

<Granas-10XY-GL>
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステム
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

手のひらサイズの小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：10 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

ボイスコイル駆動　Z軸フォーカスステージ

ピエゾより長作動＆高負荷のボイスコイル駆動ステージ

・トラベルレンジ：最大7mm
・ボイスコリモータ駆動によりハイダイナミクス
・荷重補償機構　最大1Kg
・最小動作量　10 nm

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。

PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

小幅＆高速リニアモーターステージ V-855型

・ロングトラベルレンジ (最大 800 mm) 、薄型 (幅100 mm)
・最大速度4m/sの高ダイナミック、メンテナンスフリーのリ
ニアモーター
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・高精度インクリメンタルまたはアブソリュートリニアエン
コーダ
・最大600Nの負荷容量
・ガントリー・システムに最適
＜用途例＞
電子機器の組み立て ：センサーやカメラ
非接触検査、X線検査、AOI（自動光学検査）
超音波検査 半導体製造 ウェーハの加工・検査
レーザー加工 レーザー溶接
精密自動化における高度な動的アプリケーション

V817　高負荷対応リニアステージ

高性能 - リニアモータ - コストパフォーマンス - 高速性
・薄型 (63 mm)、幅 166 mm、ロングトラベルレンジ (最大813 mm)
・高動作性、メンテナンスフリーのリニアモータと高精度インクリメンタルリニアエンコーダを搭載
・堅牢な工業デザインによる長寿命化
・最大600Nの負荷容量
・リファレンスエッジによる高速統合、簡単にXY軸に搭載

G901　ACSモーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

<Granas-10XY-GL>
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステム
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

手のひらサイズの小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：10 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

ボイスコイル駆動　Z軸フォーカスステージ

ピエゾより長作動＆高負荷のボイスコイル駆動ステージ

・トラベルレンジ：最大7mm
・ボイスコリモータ駆動によりハイダイナミクス
・荷重補償機構　最大1Kg
・最小動作量　10 nm

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。