PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

デモ動作いたします
＜XLSCAN>ガルバノ連動制御　（ガルバノはScansol社様よりご提供）
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

XY motor stage & Z motor stage

小型高精度XY軸＋Z軸リニアステージ

”V-P01”
XY軸リニアステージ　100x100mm動作、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”
Z軸ボイスコイルステージ　5mm動作、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：20 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

G901　高性能モーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

シリコンフォトニクス・光学アライメントに最適！9軸ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
・6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合
・高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージ
・複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能
・光ピークを見つける”エリアスキャン”、”勾配サーチ”アルゴリズム
・プローブにも最適な、アタッチメント付きタイプもあり

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤
ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。

PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

デモ動作いたします
＜XLSCAN>ガルバノ連動制御　（ガルバノはScansol社様よりご提供）
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

XY motor stage & Z motor stage

小型高精度XY軸＋Z軸リニアステージ

”V-P01”
XY軸リニアステージ　100x100mm動作、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”
Z軸ボイスコイルステージ　5mm動作、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：20 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

G901　高性能モーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

シリコンフォトニクス・光学アライメントに最適！9軸ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
・6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合
・高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージ
・複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能
・光ピークを見つける”エリアスキャン”、”勾配サーチ”アルゴリズム
・プローブにも最適な、アタッチメント付きタイプもあり

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤
ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。