シリコンフォトニクス・光学アライメントに最適！9軸ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
・6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合
・高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージ
・複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能
・光ピークを見つける”エリアスキャン”、”勾配サーチ”アルゴリズム
・プローブにも最適な、アタッチメント付きタイプもあり

PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

高性能モーションコントローラ　デモキット

PI社の標準コントローラに使用している子会社ACSの機能紹介
・モーションコントローラのデモキット
・SP+ECコントローラ、UDMドライバーがEtherCATで接続
・ACSのMMIソフトウェアを介して、XYリニアモータステージと回転ステージを同期制御

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

デモ動作いたします
＜XLSCAN>ガルバノ連動制御　（ガルバノはScansol社様よりご提供）
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

P-616 NanoCube® ピエゾXYZ軸ステージ

小型XYZ軸ピエゾステージ
・ストローク：各100µm
・静電容量センサー内蔵
・サイズ：40x40x40mm
・分解能　0.3nm, 再現性10nm

H-840　ヘキサポッド6軸ステージ

・6本のアクチュエータにDCサーボモータ＆ロータリーエンコーダーを内蔵
・動作量：XY±50mm、Z±25mm、θxθy±15°、θz±30°（最大1軸動作量）
・最大耐荷重：30Kg（製品による）
・高剛性：上部の天板を6本足で支える為高剛性でパラレル駆動
・サブミクロンの位置決めと累積誤差がない
・任意に回転中心を変えることが可能
・真空、アブソリュートなど別ヘキサポッドもあり

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤
ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

G901　高性能モーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

XY motor stage & Z motor stage

小型高精度XY軸＋Z軸リニアステージ

”V-P01”
XY軸リニアステージ　100x100mm動作、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”
Z軸ボイスコイルステージ　5mm動作、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：20 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

A-62x PIglide RM エアベアリング回転ステージ

高精度エアベアリングによる回転ステージ
・クリーンルーム対応
・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで
・4170 Nまでの負荷容量
・偏心と平坦度<200nm
・縦置きまたは横置きが可能

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。

P-752 高精度ナノポジショニングステージ

1軸リニアピエゾステージ
・ストローク：15＆30µm
・分解能 ：0.1 nm
・高剛性で高速応答
・静電容量センサー内蔵
・非常に高い移動精度を実現する摩擦のないフレクシャーガイド

P-882- P-888 PICMA積層ピエゾアクチュエータ

・オールセラミックスで優れた寿命
・各サイズによりストローク6.5µm～最大35µm
・高剛性・高発生力
・マイクロ秒応答
・サブナノメートル分解能
・真空対応

シリコンフォトニクス・光学アライメントに最適！9軸ステージシステム

＜高速マルチチャネルフォトニクスアライメントシステム＞
・6軸駆動ヘキサポッドとXYZ軸ピエゾステージの融合
・高速マルチチャネルフォトニクスアライメントステージ
・複数の自由度でマルチチャネルカップリングの高速かつ同時のアライメントとトラッキングを可能
・光ピークを見つける”エリアスキャン”、”勾配サーチ”アルゴリズム
・プローブにも最適な、アタッチメント付きタイプもあり

PIGlideXY軸エアベアリングステージ　A-311

高精度XY軸エアベアリングステージ
・スキャニングアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300mm×400mmまでの移動範囲
・最大147Nの負荷容量
・ロープロファイル
・分解能：1 nm

高性能モーションコントローラ　デモキット

PI社の標準コントローラに使用している子会社ACSの機能紹介
・モーションコントローラのデモキット
・SP+ECコントローラ、UDMドライバーがEtherCATで接続
・ACSのMMIソフトウェアを介して、XYリニアモータステージと回転ステージを同期制御

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

デモ動作いたします
＜XLSCAN>ガルバノ連動制御　（ガルバノはScansol社様よりご提供）
・レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動
・エアスライドガイド機構
・XY　シャフトモータ駆動：100mm
・耐荷重：< 2Kg
・アクティブ除振台
・ポーラスチャックテーブル
・リニアスケールエンコーダ

P-616 NanoCube® ピエゾXYZ軸ステージ

小型XYZ軸ピエゾステージ
・ストローク：各100µm
・静電容量センサー内蔵
・サイズ：40x40x40mm
・分解能　0.3nm, 再現性10nm

H-840　ヘキサポッド6軸ステージ

・6本のアクチュエータにDCサーボモータ＆ロータリーエンコーダーを内蔵
・動作量：XY±50mm、Z±25mm、θxθy±15°、θz±30°（最大1軸動作量）
・最大耐荷重：30Kg（製品による）
・高剛性：上部の天板を6本足で支える為高剛性でパラレル駆動
・サブミクロンの位置決めと累積誤差がない
・任意に回転中心を変えることが可能
・真空、アブソリュートなど別ヘキサポッドもあり

100µm～最大800µmのロングストローク対物レンズスキャナ　P-725 PIFOC®

ロングストローク、⾼速、ピエゾ駆動の顕微鏡対物レンズのナノフォーカス/ スキャニング⽤
ストロークが⻑くナノメートルの分解能を維持可能。
◆ストローク：100、400、800μm
◆モーター駆動Zステージをはるかにしのぐ⾼速応答と⻑寿命
◆静電容量センサーによるダイレクト計測で、⾼リニアリティを実現
◆MetaMorph、μManager、Andor iQ、MATLABのソフトウエアにも対応

G901　高性能モーションコントローラ

ACサーボモータ、DCモータ、ボイスコイルモータ、ステッピングモータを最大4軸の駆動用ドライバを統合
• ACSドライバと安全トルクオフ（STO）用モジュールを統合したACSモーションコントローラ
• PI社製ポジショナと直接互換性あり
• ACサーボモータ/ブラシレスDCモータ/ブラシ付DCモータ/ボイスコイルモータ/ステッピングモータ用
• 1軸あたりの出力電力は最大1500W

XY motor stage & Z motor stage

小型高精度XY軸＋Z軸リニアステージ

”V-P01”
XY軸リニアステージ　100x100mm動作、再現性：±0.4µm、サイズ：228mm面積、高さ55mm

”V-Z03”
Z軸ボイスコイルステージ　5mm動作、直進度・平坦度：±0.6µm、Pitch/Yawエラー：±10µrad、再現性：±0.2µm、サイズ：200x240x78mm

小型ヘキサポッド　H-811

6軸小型ヘキサポッドステージ
・任意に回転中心設定が可能
・移動範囲： リニア　±17 mm /　回転 ±21°。
・耐加重：5 kg
・再現性：±0.06 µm（Z)
・最高速度：20 mm/s
・ご要望に応じて真空対応バージョン

A-62x PIglide RM エアベアリング回転ステージ

高精度エアベアリングによる回転ステージ
・クリーンルーム対応
・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで
・4170 Nまでの負荷容量
・偏心と平坦度<200nm
・縦置きまたは横置きが可能

ポーラスチャック(真空チャック)

<ポーラスチャックの特徴>
・耐磨耗性、耐熱性が高い
・部分吸着性がある
・薄いガラスやフィルムなどのワークを変形なく均一吸着
・軽い（比重1.6～1.89）
お客様の用途に合わせたサイズ、形状など特注対応可能

【PGW社製】高い位置決め精度を可能に！メンテナンスフリーの精密小型グラナイトエアスライドXYテーブル

『GRANAS-10XY』は、主要部材（エアスライダー）にグラナイト(斑レイ岩)を使用した
高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーXYテーブルです。
摺動抵抗が極めて小さく高い位置決めが可能です。スライダー、駆動部共に
完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に適しています。

プリロードつきピエゾアクチュエータ

・長寿命
・ストローク：~90μm
・プッシュフォース：～1000N
・サブミリセカンド応答
・サブナノメートルの分解能
・オプションでボールチップあり。真空対応可能。

P-752 高精度ナノポジショニングステージ

1軸リニアピエゾステージ
・ストローク：15＆30µm
・分解能 ：0.1 nm
・高剛性で高速応答
・静電容量センサー内蔵
・非常に高い移動精度を実現する摩擦のないフレクシャーガイド

P-882- P-888 PICMA積層ピエゾアクチュエータ

・オールセラミックスで優れた寿命
・各サイズによりストローク6.5µm～最大35µm
・高剛性・高発生力
・マイクロ秒応答
・サブナノメートル分解能
・真空対応