ポジショニング EXPO F-31

フィルメトリクス(株)
  • 出展のみどころ

    膜厚測定・表面形状測定のフィルメトリクスです。
    各種膜厚測定システムは、世界中で5000台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な製品です。20年以上に渡り、研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂いております。その光学測定技術で培ったノウハウを駆使して完成させた、非接触光学式の3次元表面形状測定システム プロフィルム3Dは、コンパクトで高性能、驚愕の低価格システムです。

  • Profilm3D 3次元表面形状測定システム

    白色光干渉技術を用いたシステムで、非接触で段差・粗さを含む三次元形状の測定ができます。
    小型サンプルの測定に適したProfilm3Dは、三次元形状の測定に必要な機能を網羅し、しかも従来品と比較してコンパクト、低価格を実現しています。
    ミクロンオーダーの段差や形状の高精度測定に最適な垂直走査干渉法(WLI)と、ナノオーダーの形状測定、粗さの測定に最適な位相シフト干渉法(PSI)の両測定モードの他、各種倍率の対物レンズに対応したリボルバー、自動ステージ、容易なオペレーションと測定データの解析や管理を行うソフトウェアなど、標準段差サンプルを含むすべてが標準装備されています。
    XY自動ステージは、100mmx100mmと200×200mmがございます。
    <主な特徴>
    ・低価格! 必要な機能を全て装備しながら低価格を実現
    ・ナノメートルオーダーの高さ分解能 位相シフト干渉法を採用し、高い分解能を実現
    ・充実の標準装備 X-Y自動ステージ、手動リボルバー、自動光量調整、オートフォーカス機能
    ・コンパクトな筐体 本体のフットプリントは30×30cmとコンパクトな設計
    ・WLIとPSIの両測定モードを搭載 段差測定と粗さ測定の両方を1台で測定
    ・簡単操作 基本操作は簡単なマウス操作だけ
    ・ISOに準拠した粗さの測定 国際規格 ISO25178 に準拠
    ・拡張性 各種対物レンズの選択、データステッチング機能

  • 膜厚測定システム F20

    世界中で5000台以上の導入実績を誇る業界標準、低価格・多目的な卓上膜厚システム。研究開発から製造現場のインライン測定まで幅広い用途でご利用頂けます。F20では光干渉法を基に透明もしくは半透明膜の膜厚・屈折率・消衰係数を1秒程度で簡単に測定できる。マルチポイントでのインライン測定にも対応し、RS-232CやTCP/IPなどの外部通信に対応しているので、PLCやホストコンピューターからの制御も可能です。
    <主な特徴>
    ・ワイドレンジの膜厚に対応(1nm〜250μm)
    ・広い波長領域に対応(190nm〜1700nm)
    ・パワフルな膜厚解析
    ・光学定数(屈折率・消衰係数)の解析
    ・コンパクトな筐体
    ・インライン測定に対応

  • F10-RT 反射・透過・膜厚測定システム

    F10-RTは、測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システムです。 反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数を簡単に解析することができます。
    USBケーブルと電源ケーブルだけの簡単接続、光学系の調整なしで煩わしい設定も不要、驚くほど簡単にセットアップできます。

    <主な特徴>
    測定ユニットと測定ステージが一体化したコンパクトな卓上測定システム
    幅広い分光レンジ、各種光源を選択可能
    反射率・透過率を同時に測定し、膜厚、屈折率及び消衰係数の解析機能も使用可能
    標準整備のカメラで測定位置を同時に記録
    サンプルを置くだけ。光学系の調整が全く不要で、驚くほど簡単にセットアップ

    <主な用途>
    フラットパネル PETやガラス基板上のポリイミド、ITO、レジスト、酸化膜、反射防止コーティング、各種光学フィルム
    光学コーティング ガラス、メガネ、レンズ等のハードコート
    薄膜太陽電池 CdTe、CIGS、アモルファスシリコンなど

フィルメトリクス(株)

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住所
神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-9 新横浜フジカビル8F
ウェブサイトURL
https://www.filmetrics.co.jp
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