マスクレス露光装置(新型モデル) PALET　Lite

NEWモデルマスクレス露光装置PALET Liteは、従来品を下回る低価格ながらスライドガラスサイズ（75mm×30mm)のサンプルに対応しております。マイクロ流路/デバイス開発に最適です。
露光エリア30mm×75mm以上
最小露光線幅　約30μm
電動ステージ搭載

マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

よう素安定化He-Neレーザ

レーザ共振器内のガスセルに封入された、よう素分子の吸収スペクトルの超微細構造線（飽和吸収線）に、He-Neレーザの発振周波数をロックさせる事で周波数を安定化する、周波数安定化He-Neレーザの最高峰です。発振周波数標準不確かさは、2.5×10-11（1992年CIPM勧告に準拠）で、高精度かつ実用的な長さの標準として使用されています。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

温調付き超低ノイズLDドライバ

従来の半導体レーザドライバ（LDドライバ）と比べて極めて低い電流ノイズレベルを実現しました。低ノイズでありながら、1.4Aまでの電流駆動が可能です。温度調節機能付きで使いやすさにもこだわりました。ファイバーレーザの低ノイズ化、挟線幅半導体レーザの駆動に最適です。

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。

検査用レーザ光源

検査用レーザ光源は、半導体ウェハ／ハードディスク/ガラス/セラミック/フィルム etc…キズ、凹凸、その他欠陥検査用途に最適なレーザ光源です。長距離でも極小のビーム径、波長・出力・ビーム径などカスタム可能となっております。

マスクレス露光装置(新型モデル) PALET　Lite

NEWモデルマスクレス露光装置PALET Liteは、従来品を下回る低価格ながらスライドガラスサイズ（75mm×30mm)のサンプルに対応しております。マイクロ流路/デバイス開発に最適です。
露光エリア30mm×75mm以上
最小露光線幅　約30μm
電動ステージ搭載

マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

よう素安定化He-Neレーザ

レーザ共振器内のガスセルに封入された、よう素分子の吸収スペクトルの超微細構造線（飽和吸収線）に、He-Neレーザの発振周波数をロックさせる事で周波数を安定化する、周波数安定化He-Neレーザの最高峰です。発振周波数標準不確かさは、2.5×10-11（1992年CIPM勧告に準拠）で、高精度かつ実用的な長さの標準として使用されています。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

温調付き超低ノイズLDドライバ

従来の半導体レーザドライバ（LDドライバ）と比べて極めて低い電流ノイズレベルを実現しました。低ノイズでありながら、1.4Aまでの電流駆動が可能です。温度調節機能付きで使いやすさにもこだわりました。ファイバーレーザの低ノイズ化、挟線幅半導体レーザの駆動に最適です。

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。

検査用レーザ光源

検査用レーザ光源は、半導体ウェハ／ハードディスク/ガラス/セラミック/フィルム etc…キズ、凹凸、その他欠陥検査用途に最適なレーザ光源です。長距離でも極小のビーム径、波長・出力・ビーム径などカスタム可能となっております。