光学薄膜フェア F-05
電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 低ダメージ、低欠陥、低吸収の成膜に適しています。 新型のBS-60610BDSでは、ライナーの大容量化とハイレート化を実現しています。
電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 低ダメージ・低欠陥・低融点材料の成膜用途に適しています。