マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

傷検査用スキャニングレーザ LaScan

傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。

マスクレス露光装置　PALET

今や半導体などのエレクトロニクス産業だけでなく、物性研究、バイオテクノロジー、デバイス開発などあらゆる分野で利用されるMEMS技術。その代表格であるフォトリソグラフィを、卓上で、手軽に、思いのままに行えるのがマスクレス露光装置PALET(パレット)です。
設置場所を選ばない装置サイズ、マスクレス露光装置の常識を破る価格設定、思いついたパターンをその場で形にできるシンプルな操作性は、トライ＆エラーが必要不可欠な研究・開発用途に最適です。

光周波数コム

エルビウムファイバをゲイン媒質としたモード同期ファイバレーザです。
パルス間隔（繰り返し周波数frep）とキャリア・エンベロープ・オフセット（fCEO）は、GPSなどの安定な周波数標準に同期することが可能です。
光周波数測定、長さ計測、テラヘルツ波発生などにご利用いただけます。
本製品は、産業技術総合研究所・計測標準研究部門よりノウハウの提供を受けて開発されました。

周波数安定化He-Neレーザ

ネオアークの周波数安定化He-Neレーザ「ＨＮＨー4502ＳＴＢ」は、He-Neレーザの２つのモードを制御することで、レーザ光の発振周波数を高い精度で安定化しています。周波数安定化レーザーでありながら小型、高出力です。
測長・干渉計等様々な計測用光源として使用可能です。
ネオアークではこの他にも、光周波数コム、よう素安定化He-Neレーザ等光の波長や周波数の基準となる各種光源を取り扱っております。

【仕様】
レーザ出力：1.2ｍW以上(1モードの出力)
周波数安定度：1×10-8以下(8時間)

傷検査用スキャニングレーザ LaScan

傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。

新型_温度安定型半導体レーザ TCSQ2・LDドライバDPS6020

温度安定化型半導体レーザはレーザヘッド内部にレーザダイオード素子周辺の温度を制御するためのペルチェ素子（TEC）を内蔵することにより、安定した波長・出力のレーザを発振させると同時に対環境性能を高めた半導体レーザ光源製品です。従来型レーザヘッド（旧型名：TCSQ シリーズ）と比較し、光軸角度などの性能を改善しつつレーザヘッド部（新型名：TCSQ2 シリーズ）を約 1/2 サイズへ大幅に小型化。OEM・組み込み用のレーザ光源としての利便性を向上させました。また従来型コントローラ（旧型名：DPS-5004）を刷新し、多彩な機能を盛り込んだリーズナブルな価格設定の新型コントローラ（新型名：DPS-6020）をご用意しています。