超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』のシリーズです。
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップしております。
真空、非磁性などの特殊環境での使用にも対応しています。

ピエゾLegsモーターステージ

コンパクト・低消費ながら高い推力を備え、電源OFFでもポジション維持を行える20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

超音波モータステージ

数十mmの移動範囲を20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

＜特徴＞
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』です。
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置への組み込みが容易です。

＜使用例＞
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定

超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』のシリーズです。
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップしております。
真空、非磁性などの特殊環境での使用にも対応しています。

ピエゾLegsモーターステージ

コンパクト・低消費ながら高い推力を備え、電源OFFでもポジション維持を行える20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

超音波モータステージ

数十mmの移動範囲を20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

＜特徴＞
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』です。
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置への組み込みが容易です。

＜使用例＞
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定