球面軸受 軸短タイプ SRJS

SRJは、チルト機構との相性の良さから半導体製造装置、光学機器へ広くご使用いただいております。
近年、チルト機構の高さを抑えたいとの要望が増加し、従来の高剛性、高精度を保ちつつシャフトを短くすることで 高さを抑えた軸短タイプをラインアップ化いたしました。

球面軸受 SRJ

パラレルメカニズムにとって不可欠な多自由度のジョイントは、これまで回転ジョイントの組み合わせによって2～3自由度を得ていました。
しかしこれらのジョイントは構造上複雑になり、大きくなってしまうという特徴がありました。
また多自由度を持つ滑りの球面軸受もありますが、大きな摩擦抵抗と内部隙間がありました。
ヒーハイストではこれらの課題を解決すべく転がり案内方式による球面軸受を開発しました。

Zチルトステージ

クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。
角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。
テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受（SRJ）が使われています。

XYθステージ　NAF3Cシリーズ

NAF3シリーズ　CタイプはUVWの３軸アクチュエータとスライド部に中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。
導入事例　半導体製造装置/検査装置　パネル製造/検査装置　スクリーン印刷、プリント基板印刷機　顕微鏡ステージ　他

超精密ステージ HWシリーズ

送り機構に「ボールネジ＋クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。

球面軸受 軸短タイプ SRJS

SRJは、チルト機構との相性の良さから半導体製造装置、光学機器へ広くご使用いただいております。
近年、チルト機構の高さを抑えたいとの要望が増加し、従来の高剛性、高精度を保ちつつシャフトを短くすることで 高さを抑えた軸短タイプをラインアップ化いたしました。

球面軸受 SRJ

パラレルメカニズムにとって不可欠な多自由度のジョイントは、これまで回転ジョイントの組み合わせによって2～3自由度を得ていました。
しかしこれらのジョイントは構造上複雑になり、大きくなってしまうという特徴がありました。
また多自由度を持つ滑りの球面軸受もありますが、大きな摩擦抵抗と内部隙間がありました。
ヒーハイストではこれらの課題を解決すべく転がり案内方式による球面軸受を開発しました。

Zチルトステージ

クサビ型Z軸モジュールを3ヶ所配置したチルトステージ。
角度調整する対象物の下面にステージを配置し、各アクチュエータの上下動作により高さや水平レベルの調整が可能です。
テーブルとアクチュエータとのジョイント部は、当社製の球面軸受（SRJ）が使われています。

XYθステージ　NAF3Cシリーズ

NAF3シリーズ　CタイプはUVWの３軸アクチュエータとスライド部に中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。
各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 薄型コンパクト・高剛性・高精度な位置決めが行えます。
導入事例　半導体製造装置/検査装置　パネル製造/検査装置　スクリーン印刷、プリント基板印刷機　顕微鏡ステージ　他

超精密ステージ HWシリーズ

送り機構に「ボールネジ＋クサビ式減速機構」を搭載。また、直動ガイドに「クロスローラガイド」を搭載することで高追従・高精度・高剛性を実現した超精密なステージです。