M-5113_直線性デジタル補正装置

弊社の静電容量型変位計の非直線性誤差を改善を目的とした直線性デジタル補正装置です。

出力非直線性誤差の例）
±100umセンサ
●M-2218のみ
-0.13％～+0.08％：±0.103％
●M-5113　
-0.01％～+0.00％：±0.007％

±500umセンサ
●M-2218のみ
-0.19％～+0.14％：±0.167％
●M-5113
-0.01％～+0.02％：±0.012％

ピエゾドライバ　M-26130

M-26107の後継機種として近日発売予定！！

特徴
・ハイパワー
・出力電圧　-10～150V
・平均電流　7.2A
・ピーク電流　16A
・GAIN　0～30倍可変
・スロースタート機能
・リモート機能(出力ON/OFF、アラーム出力)

静電容量型センサーアンプ 、センサープローブ

安価で高精度な静電容量型センサーアンプと、センサープローブです。
測長距離20μm〜4000μm、分解能0.1nm〜10nm
と高精度です。

MD-100シリーズ

Open Loop変位量：150μm、Closed Loop変位量：120μmと長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立しており高速なステップ動作が可能な対物レンズ用アクチュエータです。

ピエゾアクチュエータ_ステージ　MHS-Fシリーズ

一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニットです。高剛性・高速応答・真直度・小型。ストロークは20μm～120μmを選択できます。静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。

M-5113_直線性デジタル補正装置

弊社の静電容量型変位計の非直線性誤差を改善を目的とした直線性デジタル補正装置です。

出力非直線性誤差の例）
±100umセンサ
●M-2218のみ
-0.13％～+0.08％：±0.103％
●M-5113　
-0.01％～+0.00％：±0.007％

±500umセンサ
●M-2218のみ
-0.19％～+0.14％：±0.167％
●M-5113
-0.01％～+0.02％：±0.012％

ピエゾドライバ　M-26130

M-26107の後継機種として近日発売予定！！

特徴
・ハイパワー
・出力電圧　-10～150V
・平均電流　7.2A
・ピーク電流　16A
・GAIN　0～30倍可変
・スロースタート機能
・リモート機能(出力ON/OFF、アラーム出力)

静電容量型センサーアンプ 、センサープローブ

安価で高精度な静電容量型センサーアンプと、センサープローブです。
測長距離20μm〜4000μm、分解能0.1nm〜10nm
と高精度です。

MD-100シリーズ

Open Loop変位量：150μm、Closed Loop変位量：120μmと長ストロークレンジと高い剛性を高レベルで両立しており高速なステップ動作が可能な対物レンズ用アクチュエータです。

ピエゾアクチュエータ_ステージ　MHS-Fシリーズ

一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニットです。高剛性・高速応答・真直度・小型。ストロークは20μm～120μmを選択できます。静電容量型変位センサ・温度センサ・空気導入継ぎ手をオプション設定。