ステアリング・モジュール・ステージ（開発事例）

小型超音波モータEDGE-4Xモータを搭載したレーザステアリングモジュールの実績事例です。
±3°の可動範囲、0.1µradの分解能。1°の移動を30msecで完了。400Hz以上の共振周波数を持ち、迅速かつ正確なレーザービーム制御を実現します。XCD2コントローラと組み合わせ、1軸または2軸での運用が可能。LiDARなどレーザービームの高精度かつ高速な角度制御が必要な分野で使用できます。

オートフォーカス機構（開発事例）

フォーカス アプリケーション用のさまざまなモジュールを設計および製造しています。これらのモジュールは、小型超音波モータEDGE-4Xを搭載しています。さまざまなレベルの衝撃や振動を受ける手持ち式、空中式、地上車両用のデバイスに統合できるように設計されています。
オート フォーカス モジュールは閉ループ環境で動作し、XCD または XCD2コントローラ＆ドライブ ボードで制御されます。

超音波モータ（ピエゾモータ） EDGE-4X

EDGE-4X超音波モータは、超小型・高精度の産業用モータです。12.5×7.0×3.5mm・質量1.2gの軽量設計ながら、最大200mm/sの速度と1.3Nの保持力を発揮。低電圧駆動・高耐久性・静音性に優れ、真空環境でも使用可能で、直線・回転運動に対応します。

低軌道衛星用ステージ（開発事例）

この3軸ステージは、撮影時の振動抑制を目的に開発されました。低軌道衛星搭載向けで、X/Y軸35mm、Z軸3.5mmの可動域、分解能0.1μm、繰り返し精度0.5μmを実現。8Hzスキャン動作と高耐久性により、微細な振動の影響を低減。サイズ100×90×60mm、質量610gと小型軽量で、消費電力8W以下、保持時0Wの高効率設計。高放射率コーティングとグラフェンシートで熱管理を最適化しています。

超音波モータ（ピエゾモータ）　HRシリーズ

HRモータにはHR1（駆動力4N）〜HR8（駆動力32N）のモデルがあります。またトルクが少ない時はHRシリーズを複数使って最大128Nまで増やすことができます。モータがステージを押し付けていることにより非通電時でもステージを保持されます。
毎秒数μ〜250mmまでの可変速範囲を持ち、安定した低速移動から高速移動までを可能としています。
大気中から高真空までいろんな場面で活用できます。

超音波モータ（ピエゾモータ）SEシリーズ

SEモータは半導体製造装置におけるNanomotion社の超音波モータの豊富な経験を基に開発されました。
高剛性によってサブナノメートルの分解能と1nmの高精度位置決めを可能としています。真空環境に対応し早い位置決め整定時間は、半導体の製造装置や検査装置に採用されています。

ステアリング・モジュール・ステージ（開発事例）

小型超音波モータEDGE-4Xモータを搭載したレーザステアリングモジュールの実績事例です。
±3°の可動範囲、0.1µradの分解能。1°の移動を30msecで完了。400Hz以上の共振周波数を持ち、迅速かつ正確なレーザービーム制御を実現します。XCD2コントローラと組み合わせ、1軸または2軸での運用が可能。LiDARなどレーザービームの高精度かつ高速な角度制御が必要な分野で使用できます。

オートフォーカス機構（開発事例）

フォーカス アプリケーション用のさまざまなモジュールを設計および製造しています。これらのモジュールは、小型超音波モータEDGE-4Xを搭載しています。さまざまなレベルの衝撃や振動を受ける手持ち式、空中式、地上車両用のデバイスに統合できるように設計されています。
オート フォーカス モジュールは閉ループ環境で動作し、XCD または XCD2コントローラ＆ドライブ ボードで制御されます。

超音波モータ（ピエゾモータ） EDGE-4X

EDGE-4X超音波モータは、超小型・高精度の産業用モータです。12.5×7.0×3.5mm・質量1.2gの軽量設計ながら、最大200mm/sの速度と1.3Nの保持力を発揮。低電圧駆動・高耐久性・静音性に優れ、真空環境でも使用可能で、直線・回転運動に対応します。

低軌道衛星用ステージ（開発事例）

この3軸ステージは、撮影時の振動抑制を目的に開発されました。低軌道衛星搭載向けで、X/Y軸35mm、Z軸3.5mmの可動域、分解能0.1μm、繰り返し精度0.5μmを実現。8Hzスキャン動作と高耐久性により、微細な振動の影響を低減。サイズ100×90×60mm、質量610gと小型軽量で、消費電力8W以下、保持時0Wの高効率設計。高放射率コーティングとグラフェンシートで熱管理を最適化しています。

超音波モータ（ピエゾモータ）　HRシリーズ

HRモータにはHR1（駆動力4N）〜HR8（駆動力32N）のモデルがあります。またトルクが少ない時はHRシリーズを複数使って最大128Nまで増やすことができます。モータがステージを押し付けていることにより非通電時でもステージを保持されます。
毎秒数μ〜250mmまでの可変速範囲を持ち、安定した低速移動から高速移動までを可能としています。
大気中から高真空までいろんな場面で活用できます。

超音波モータ（ピエゾモータ）SEシリーズ

SEモータは半導体製造装置におけるNanomotion社の超音波モータの豊富な経験を基に開発されました。
高剛性によってサブナノメートルの分解能と1nmの高精度位置決めを可能としています。真空環境に対応し早い位置決め整定時間は、半導体の製造装置や検査装置に採用されています。