超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』シリーズ
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップ
真空、非磁性などの特殊環境でのカスタマイズにも対応

用途例：精密位置決め、干渉計、光学ミラー・レンズ微調、ビームステアリング、細胞観察、ファイバー調芯など

様々なお客様のご要望に対応検討し、多くのカスタム対応も行っています

精密モータステージ

20nm分解能動作と数十mmストロークを両立した、ピエゾモータ駆動位置決めステージ

＜特徴＞
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

光学・半導体・精密測定分野での高精度位置決めに最適

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置へ幅広く組み込み可能です。

＜使用例＞
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定

ピエゾLegsモーターステージ

コンパクト・低消費ながら高い推力を備え、電源OFFでもポジション維持を行える20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。

超精密位置決めピエゾステージ

1nmの分解能を備えた『超精密位置決めピエゾステージ』シリーズ
直動・回転・チルトなどの可動軸を標準でラインナップ
真空、非磁性などの特殊環境でのカスタマイズにも対応

用途例：精密位置決め、干渉計、光学ミラー・レンズ微調、ビームステアリング、細胞観察、ファイバー調芯など

様々なお客様のご要望に対応検討し、多くのカスタム対応も行っています

精密モータステージ

20nm分解能動作と数十mmストロークを両立した、ピエゾモータ駆動位置決めステージ

＜特徴＞
・リニアスケール内蔵で高い位置再現性
・真空対応可能
・摩擦保持され静止時の安定性が高い
・自己発熱が小さい

光学・半導体・精密測定分野での高精度位置決めに最適

微小力センサ

μN〜mNの微小な力をセンシングできる『微小力センサ』
軽量・コンパクトで既存の実験機器や装置へ幅広く組み込み可能です。

＜使用例＞
・プローブの接触検知
・微小デバイスの引張り、圧縮力
・微小摩擦力測定

ピエゾLegsモーターステージ

コンパクト・低消費ながら高い推力を備え、電源OFFでもポジション維持を行える20nmの分解能で高精度に位置決めが行えます。